日本USHIO牛尾光刻機電子零件用各種曝光裝置四川成都優(yōu)勢供應

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產品名稱: 日本USHIO牛尾光刻機電子零件用各種曝光裝置四川成都優(yōu)勢供應

產品型號:

產品展商: 日本USHIO牛尾

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簡單介紹

日本USHIO牛尾光刻機電子零件用各種曝光裝置四川成都優(yōu)勢供應日本USHIO牛尾光刻機電子零件用各種曝光裝置四川成都優(yōu)勢供應

日本USHIO牛尾光刻機電子零件用各種曝光裝置四川成都優(yōu)勢供應 的詳細介紹

運用USHIO的光源?照明?光學?校正及搬運技術，實現高性能、高生產性、及低成本的電子零件用曝光裝置。

具有適用于解析力3umL/S～20umL/S、及曝光區(qū)域φ100～300mm的各種類型（單面/雙面、全部/部分等）。

特征

?光罩無損害
采用光罩與工作件非接觸的「投影曝光方式」。
遮罩是半長久使用，因此降低運轉成本、防止接線缺陷、并提高良品率。
?獨特的回路比對方式校正
應用影像處理技術，以依回路比對方式的獨特校正機構。
無須專用的校正記號，可依各種工作條件執(zhí)行高**度校正。
?較深的焦點焦度
通過焦點深度較深（±50～100μm）的投影鏡片，
即使是有高低差異的基板或厚膜電阻，亦能執(zhí)行銳利的類型描繪之曝光。
?適用各種作產品
硅晶圓、印刷基本、滾筒及玻璃基板，適用工作與應用軟件的搬運系統(tǒng)。