成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科多室濺射設(shè)備
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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科多室濺射設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào): ENTRON TM -EX W300
產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ENTRON TM -EX W300
成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科多室濺射設(shè)備
的詳細(xì)介紹
濺射裝置負(fù)載鎖定型
多室
濺射設(shè)備ENTRON TM -EX W300
Al、Cu、高熔點(diǎn)金屬 是單晶圓多室兼容平臺(tái)，在金屬布線工藝上有很多成就。通過(guò)將 SIS（自離子濺射）-PVD、金屬 CVD/ALD 和用于下一代工藝的 DRY 預(yù)處理模塊相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了*佳的性價(jià)比。
特征
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基于我們傳統(tǒng)型號(hào) ENTRON TM -W300 / W200 系列的*新型號(hào)，改進(jìn)主要旨在提高生產(chǎn)率。
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*多可安裝 8 個(gè)工藝（PVD、ALD、CVD 等），外加 2 個(gè)（脫氣、冷卻）模塊。
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配備我們的新型搬運(yùn)機(jī)器人，實(shí)現(xiàn) 100wph 或更高的機(jī)械吞吐量。
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我們提供*適合專用工藝或小型晶圓廠的 S 型（單一型）和支持大型晶圓廠的 T 型（串聯(lián)型），并靈活應(yīng)對(duì)客戶的生產(chǎn)計(jì)劃。
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可安裝監(jiān)控和管理設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的ED-PMS系統(tǒng)，可安裝非接觸式膜厚測(cè)量裝置MESEC-BIT。
采用
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*先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備
