成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

產(chǎn)品型號: EGL-35M

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野供應(yīng)：日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍 的詳細(xì)介紹

金屬膜用EB槍

EGL系列

EGL-35M

ULVAC

電子束蒸發(fā)源 EGL-35M 是基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)在性能和可靠性方面的改進(jìn)。EGL-35M有兩個容量為40cc（*大輸入功率10kW）的坩堝和兩個容量為10cc（*大輸入功率6kW）的坩堝（在標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的情況下），任何多層薄膜沉積都是可能的。

特征

通過采用容量為40cc和10cc的4點(diǎn)切換式爐床，可以沉積多層膜。
由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對沉積材料的影響極小。
通過掃描X軸和Y軸上的束斑，即使是可升華的物質(zhì)也可以順利蒸發(fā)，消除挖掘現(xiàn)象。
由于電子束的270°偏轉(zhuǎn)，它不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中，燈絲壽命長。
由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸，因此很容易更換燈絲和絕緣體。
可選裝爐床位置檢測機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)爐床旋轉(zhuǎn)自動化。

規(guī)格

加速電壓		-4kV 至 -10kV 直流
發(fā)射電流 (MAX)		1.0A MAX (at-10kV)
*大輸入功率		10kW（40cc坩堝）、6kW（10cc坩堝）
X軸偏轉(zhuǎn)線圈		-0.4A ～ -3.5A MAX -18V DC 約 2.6Ω (at 20 ℃)
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈		0A to ± 1.2A MAX ± 12V DC 約 5.8Ω (at 20 ℃)
燈絲		0V-12V AC *大 40A
坩	數(shù)字	四
	容量	40cc x 2、10cc x 2（標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格）
	尺寸	50Φ×41Φ×25H、32Φ×24Φ×15H
光束偏轉(zhuǎn)角		270°
有效蒸發(fā)角		90°以上
沉積率		1.6μm/min以上（A\|8kW，250H正上方一半）
冷卻水量	哈斯	10L/min以上0.7Mpa(max)
	線圈	2L/min以上0.7Mpa(max)
水溫		15℃～25℃
Haas 職位發(fā)布機(jī)制		觸點(diǎn)數(shù)量：NO 4 個觸點(diǎn)
（選項(xiàng)）		容量：MAX 1A，50V DC
外形尺寸		170W x 240D x 156H 不包括突出部分
重量		約18公斤
適用電源		HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F