成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號: EGL-103S
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng):日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
的詳細(xì)介紹
金屬膜用EB槍
EGL系列
EGL-103S
ULVAC
EGL-103S 電子束蒸發(fā)器是基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)在性能和可靠性方面的改進(jìn)。
該蒸發(fā)源具有一個(gè)*大輸入功率為 6 kW 的直動式 3 點(diǎn)開關(guān)爐床。
坩堝容量為10cc x 3,適用于超高真空實(shí)驗(yàn)和小規(guī)模生產(chǎn)。
特征
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采用容量為10cc的直動式三點(diǎn)開關(guān)式爐缸,適用于超高真空小規(guī)模生產(chǎn)。
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由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn),即使對于二次電子對非沉積材料影響很小的升華材料,也可以在X軸和Y軸方向掃描束斑,消除了部分挖孔現(xiàn)象。,整個(gè)鍋可以順利蒸發(fā)。(擁有日本磚利第 831485.843447 號)
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電子束偏轉(zhuǎn)270°,因此不會從蒸發(fā)材料中暴露在上面,燈絲壽命長。
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由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸,因此很容易更換燈絲和絕緣體。