成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科擺閥
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科擺閥
產(chǎn)品型號: VFR-400
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
ULVAC開創(chuàng)技術(shù)開發(fā)的大型擺閥（閘閥）。
兼容顯示成膜設(shè)備等大型真空設(shè)備。
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科擺閥
的詳細(xì)介紹
擺閥
雙作用
VFR 系列
VFR-400
ULVAC
ULVAC開創(chuàng)技術(shù)開發(fā)的大型擺閥（閘閥）。
兼容顯示成膜設(shè)備等大型真空設(shè)備。
特征
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ULVAC的獨特
機構(gòu) 采用不具有機械鎖定機構(gòu)的獨特密封機構(gòu)和反向壓力消除機構(gòu)
導(dǎo)致產(chǎn)生顆粒的滑動部件極少的結(jié)構(gòu)
開/關(guān)操作或密封過程中幾乎沒有沖擊（振動）。
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可維護(hù)性優(yōu)良
的裝置，無需從泵上拆下閥門即可裝卸閥殼。從
拆下外殼的狀態(tài)下，只需卸下一個螺栓即可裝卸閥體單元。
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設(shè)計安裝在任何地方
VFR系列可以360度安裝在任何姿勢
采用
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大型顯示器制造設(shè)備
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有機EL制造設(shè)備
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其他真空設(shè)備的主閥和隔斷閥
