ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計

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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計

產(chǎn)品型號: ST200-A/R/E

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計ST200-A/R/E

ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計 的詳細介紹

熱陰極電離真空計

傳感器類型

ST200系列

ST200-A/R/E

ULVAC

可以連接不同量程的測量頭的新型換能器系列“G-TRAN系列多離子規(guī)”。本產(chǎn)品是三極管型電離真空計，即使在真空計的惡劣環(huán)境下，也不會輕易降低靈敏度，并且可以長時間準確地進行真空測量。在繼承長壽命、低運行成本的傳統(tǒng)理念的同時，我們進行了更加人性化的改進。

特征

可用性改進：通過連接到 PC/智能手機，可以進行設定點設置、狀態(tài)檢查等
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)控燈絲的電量，可以提前通知燈絲壽命。
可連接不同量程的測針：采用多離子規(guī)，可根據(jù)應用選擇測針。
緊湊：與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了顯著的小型化（控制器體積減少了 56%），世界上*小的級別
產(chǎn)品陣容擴充：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。
世界首款三極管金屬電離氣壓計（正在申請磚利）：真空計即使在惡劣環(huán)境下也能實現(xiàn)長壽命
寬范圍壓力測量：可測量從大氣壓到高真空區(qū)域（1 x 10 ⁺⁵至 1 x 10 ^-5 Pa）（連接可選單元 SWU10-R 時）
精確的大氣壓測量：可確認大氣壓打開腔室（連接可選單元 SAU 時）

采用

有機EL、觸控面板等制造設備的極限壓力檢查和過程控制
用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力
用于在含有大量碳氫化合物（油基）的環(huán)境中測量
真空零件加工時，在切削油、清洗液殘留的環(huán)境中進行測量
用于希望減少真空計測針更換頻率的真空設備

* 如果您在腐蝕性氣體（鹵素氣體）環(huán)境中使用，請與我們聯(lián)系。

規(guī)格

模型		ST200-A	ST200-R	ST200-E（預定發(fā)售）
規(guī)格		標準規(guī)格	串行通信規(guī)格	EtherCAT 規(guī)格
自適應多離子規(guī)傳感器		SWT-16 (NW16), SWT-25 (NW25)
可連接傳感器		多離子規(guī)傳感器：1 個皮拉尼規(guī) SWU10-R：1 個（選項）大氣壓傳感器 SAU：1 個（選項）
重復精度 (N ₂ )		ST200單機模式：±2%
采樣時間		60ms 5 個移動平均線
測量值輸出		輸出電壓 DC 0-10V LOG 輸出 0.75V / 1位壓力轉換公式 V = 7.25 + 0.75 × (LogP-2) P = 10 ^ {(V-7.25) /0.75+2}
更新時間		60毫秒
控制輸入信號		FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF 集電極開路輸入，負邏輯	――――	――――
控制輸出信號		傳感器錯誤，設定點 1/2/3，發(fā)射電壓，燈絲功率監(jiān)測額定值：24V _MAX，50mA _MAX，飽和電壓 1V	――――	――――
串行通信規(guī)格		――――	RS232C / RS-485	EtherCAT
LED顯示屏		POWER / ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
發(fā)射電流		2mA（1×10 ^-2 Pa以下）、10μA（1×10 ^-2 Pa以上）
脫氣		電子轟擊法，發(fā)射電流2mA，柵極電壓約330V
傳感器耐壓		2 x 10 ⁺⁵ Pa（優(yōu)良壓力） * 法蘭和卡箍等承受壓力需要單獨考慮。
傳感器內部容積		17cm ³ (SWT-16), 19cm ³ (SWT-25)
工作溫度限制		10-50℃
工作濕度范圍		15-80%（但無冷凝）
貯存溫度		-20～65℃（不通電時不結露）
知識產(chǎn)權保護等級		IP30
電源電壓		DC20-28V（紋波、噪聲1%以下） 8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub 15針（M2.6螺絲）
大量的		控制器：約 280g 觸控筆（SWT-16、SWT-25）：80g
外形尺寸 W × D × H		69mm x 63mm x 90mm（控制器部分）
符合標準		行政長官
可選的	多離子規(guī)傳感器	SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質：燈絲：Ir / Y ₂ O ₃涂層其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐合金/鍍鎳
	皮拉尼規(guī)	SWU10-R * 與傳統(tǒng) SPU 兼容
	皮拉尼規(guī)傳感器	SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質: Filament-Pt, Other-BS / Ni, Plating, Ni, Solder
	氣壓傳感器	SAU (NW16) 材質：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
	顯示單元	1CH：ISG1（使用24V直流電源）
	顯示單元電纜	SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他	檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書

各模式規(guī)格

ST200-A / ST200-R / ST200-E可從三種使用方式中進行選擇：多油表單模式、與吡拉尼計的組合模式、與吡拉尼計和氣壓傳感器的三組組合模式。

模式	ST200-A / ST200-R / ST200-E 單模	ST200 -A/ST200-R/ST200-E +SWU10-R 組合模式	ST200 -A/ST200-R/ST200-E +SWU10-R+SAU 組合模式
測量壓力范圍	1.0 × 10 ^-5至 1.0 × 10 ⁺¹ Pa	1.0 × 10 ^-5 ~ 1.0 × 10 ⁺⁵ Pa	1.0 × 10 ^-5 ~ 1.0 × 10 ⁺⁵ Pa
測量精度	1.0×10 ^-4至 3.0×10 ⁺⁰ Pa： ±10%	1.0 × 10 ^-4至 1.0 × 10 ⁺⁴ Pa：± 10% 1.0 × 10 ⁺⁴至 1.0 × 10 ⁺⁵ Pa：± 20%	1.0 × 10 ^-4至 1.0 × 10 ⁺⁴ Pa：± 10% 1.0 × 10 ⁺⁴至 3.0 × 10 ⁺⁵ Pa：± 3% FS (3.0 × 10 ⁺³ Pa ?參考溫度25℃)
連接圖
測量壓力范圍圖像	三重組合用于需要確認“大氣壓力”的情況，例如當腔室打開時。