成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵

產(chǎn)品型號(hào): UTM70B

產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

使用陶瓷球軸承的復(fù)合葉片式渦輪分子泵。通過(guò)集成控制器和泵實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。優(yōu)異的高背壓特性使輔助泵的小型化成為可能。

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵 的詳細(xì)介紹

渦輪分子泵

UTM-B系列

UTM70B

ULVAC

使用陶瓷球軸承的復(fù)合葉片式渦輪分子泵。
通過(guò)集成控制器和泵實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。
優(yōu)異的高背壓特性使輔助泵的小型化成為可能。

特征

安裝方向自由
由于沒(méi)有安裝方向的限制，因此擴(kuò)大了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
由于搭載車載
控制器的控制器安裝在渦輪主體上，因此對(duì)節(jié)省布線和排氣系統(tǒng)的小型化很有效。
輔助泵可以小型化，因?yàn)樗哂?/span>高壓縮比和高排氣壓力壓縮比，并且可以在高背壓下運(yùn)行。
三種法蘭可供選擇
進(jìn)氣法蘭有VG65、ICF114和ISO63-K三種可供選擇。
它的設(shè)計(jì)旨在減少碳?xì)浠衔锏幕亓?，不僅在清潔真空操作期間，而且在泵停止時(shí)也是如此。
噪音
空載運(yùn)行時(shí)的噪音低至 48 dB 或更低。（ISO63-K法蘭型測(cè)量值。）

采用

分析儀、研發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等主要排氣系統(tǒng)。
蒸鍍?cè)O(shè)備、濺射設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)。
H2、He等輕質(zhì)氣體的主排氣系統(tǒng)

規(guī)格

模型				UTM70B
泵
	冷卻方式			自然風(fēng)冷	強(qiáng)制風(fēng)冷
	進(jìn)氣口側(cè)法蘭*1			VG65、ICF114、ISO063-K
	排氣口側(cè)法蘭			KF16
	排氣速度（不帶防護(hù)網(wǎng)）		氮₂	70升/秒
			他	60升/秒
			H ₂	49升/秒
	極限壓力（使用二級(jí)輔助泵時(shí)）2、3	烘烤后		――――	10 ^-8帕
		烘烤前		10 ^-6帕
	*大壓縮比			N ₂ :> 1 × 10 ⁹ , He: 4 × 10 ⁷ , H ₂ : 4 × 10 ⁵
	大進(jìn)氣壓力4、5、6		氮₂	0.43Pa	1.1Pa
	大排氣口壓力4、5、7		氮₂	300Pa	900Pa
	連續(xù)運(yùn)行大流量8 使用輔助泵時(shí)60L/min	無(wú)氣體吹掃	氮₂	15sccm	40sccm
		無(wú)氣體吹掃	氬	――――	10sccm
		帶氣體吹掃		――――	15sccm
	推薦輔助泵（10SCCM吸入時(shí)）*9			60L/min以上
	質(zhì)量 * 10			VG：3.3kg，ISF：3.0kg，ISO：5.0kg
	旋轉(zhuǎn)速度			87000轉(zhuǎn)
	啟動(dòng)時(shí)間（*高80%）（DC24V背壓5Pa以下時(shí)）			1.7 分鐘
	表面處理*11			沒(méi)有
	安裝方向			每個(gè)方向
	噪音 * 12			48dB (A) 或更低
電源規(guī)格
	輸入電源			DC24V±5%, 120W
	接點(diǎn)輸入/輸出			遠(yuǎn)程（D-sub 15 針公頭） 4 個(gè)數(shù)字輸入，1 個(gè)模擬輸出
	串行通信			RS-485（D-sub 15 針公頭，與 REMOTE 共用）
	LED顯示屏			電源、正常、報(bào)警
	轉(zhuǎn)變			開(kāi)始/停止，復(fù)位
	可變轉(zhuǎn)速			轉(zhuǎn)速可在指定泵數(shù)的 25% 和 100% 之間改變（設(shè)置以 0.1% 為單位）。
	異常檢測(cè)			檢測(cè)警報(bào)和警告
	保護(hù)措施			顯示警報(bào)和警告
標(biāo)準(zhǔn)配件				使用說(shuō)明書（CD-R）、保護(hù)網(wǎng)（僅VG、ICF。墊圈內(nèi)置ISO法蘭）、墊圈（進(jìn)氣口用）、防塵蓋（進(jìn)氣口、排氣口、連接器用）各1個(gè)

* 1	訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇VG65、ICF114、ISO63-K。
* 2	顯示順序。
* 3	只有在對(duì) ICF 法蘭使用強(qiáng)制風(fēng)冷時(shí)才能進(jìn)行烘烤。
*四個(gè)	這是環(huán)境溫度為 25°C 時(shí)的值。允許值隨環(huán)境溫度變化而變化。
*五	大進(jìn)氣口壓力和大排氣口壓力不能同時(shí)滿足。
* 6	允許連續(xù)排氣的*大進(jìn)氣口壓力。
* 7	它是當(dāng)來(lái)自進(jìn)氣口的廢氣流量為0 sccm時(shí)，可以連續(xù)工作的排氣口的*大壓力。
* 8	這是環(huán)境溫度為 5 至 25°C 時(shí)的值。請(qǐng)使用N _{2氣體 25sccm，氣體吹掃。}
* 9	如果氣體量大，選擇輔助泵，使排氣口壓力小于或等于*大排氣口壓力。
*十	帶風(fēng)冷風(fēng)扇的 UTM70B 重量重 0.2kg。
* 11	請(qǐng)勿讓反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體或含有 Ga 的氣體流動(dòng)。其他氣體請(qǐng)聯(lián)系我們。
* 12	ISO法蘭型。這取決于我們的測(cè)量方法。