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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科飛濺離子泵
產(chǎn)品型號: PST-030CU / AU
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
利用濺射活性鈦的吸氣作用的超高真空泵（actor pump）。
ULVAC愛發(fā)科飛濺離子泵
的詳細介紹
飛濺離子泵
PST系列
PST-030CU / AU
ULVAC
利用濺射活性鈦的吸氣作用的超高真空泵（actor pump）。
特征
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兼容極高的真空度。用 ISO 標準測試圓頂證明了10-9 Pa的極限壓力。
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惰性氣體排氣強化型（AU型）的排氣性能是氬氣的2倍。（與我們公司相比）
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在超高真空范圍內(nèi)實現(xiàn)較大的排氣速度。
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短時間內(nèi)排到超高真空區(qū)。
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在超高真空區(qū)具有出色的啟動特性。（放電持續(xù)到超高真空區(qū)）
采用
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加速器
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電子顯微鏡
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電子束光刻系統(tǒng)
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不喜歡振動的分析裝置
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使用超高真空環(huán)境等
