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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
產(chǎn)品型號: UTM-MI系列UTM -350FW
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
ULVAC
一種復(fù)合葉片式渦輪分子泵，采用數(shù)字式 5 軸控制磁力軸承。
UTM-FH和UTM-FW采用數(shù)字5軸控制磁浮軸承，實(shí)現(xiàn)了高功能、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
成都西野：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
的詳細(xì)介紹
渦輪分子泵
UTM-MI系列
UTM-FW
ULVAC
一種復(fù)合葉片式渦輪分子泵，采用數(shù)字式 5 軸控制磁力軸承。
UTM-FH和UTM-FW采用數(shù)字5軸控制磁浮軸承，實(shí)現(xiàn)了高功能、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
FW系列為高頻大流量型，適用于高負(fù)荷加工和中硬加工。
特征
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配備監(jiān)控/自我診斷功能和通訊功能，可以通過數(shù)字化支持集中管理系統(tǒng)。
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配備無耦合系統(tǒng)。
一個電源可以通過切換型號與注冊的泵體結(jié)合使用。
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還提供諸如控制轉(zhuǎn)子溫度并減少副反應(yīng)產(chǎn)物粘附的內(nèi)部升溫系統(tǒng)等選項(xiàng)
。
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也可選擇優(yōu)異的耐腐蝕表面處理（鍍鎳+陽離子電沉積涂層、特殊層壓涂層、氧化鋁等） 。
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可以全方位安裝。
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配備變速系統(tǒng)。排氣速度可以在 25% 到 100% 的范圍內(nèi)變化。
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采用破壞性能量吸收結(jié)構(gòu)，在發(fā)生故障時減少設(shè)備損壞的高度**設(shè)計(jì)。
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通過大氣涌入試驗(yàn)、各種接地試驗(yàn)、轉(zhuǎn)子葉片破壞試驗(yàn)、異物污染（晶片落下）試驗(yàn)等，實(shí)現(xiàn)
高耐久性和高可靠性。
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CE 兼容
利用
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干法蝕刻設(shè)備、CVD設(shè)備等中硬工藝的主排氣系統(tǒng)
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干法蝕刻設(shè)備、CVD設(shè)備、濺射設(shè)備等大流量排氣應(yīng)用。
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分析儀、研發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等主要排氣系統(tǒng)。
規(guī)格
注）本規(guī)格表中的數(shù)值為實(shí)測數(shù)據(jù)的代表值，并非保證值。
* 1 根據(jù) JVIS005 標(biāo)準(zhǔn)測量值。此外，計(jì)算值基于測量值。
* 2 未附加保護(hù)絲網(wǎng)的值。
* 3 表示訂單。
* 4 標(biāo)準(zhǔn)表面處理的標(biāo)準(zhǔn)輔助泵的排放值。
如需在*大進(jìn)氣壓力附近長期連續(xù)使用，請與我們聯(lián)系。
* 5 根據(jù)氣體流量選擇大容量的泵。
