成都西野：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵

產(chǎn)品型號: UTM-FH系列UTM-350FH

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

ULVAC 一種復(fù)合葉片式渦輪分子泵，采用數(shù)字式 5 軸控制磁力軸承。 UTM-FH和UTM-FW采用數(shù)字5軸控制磁浮軸承，實現(xiàn)了高功能、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點。

成都西野：ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵 的詳細(xì)介紹

渦輪分子泵

UTM-FH系列

UTM-FH

ULVAC

一種復(fù)合葉片式渦輪分子泵，采用數(shù)字式 5 軸控制磁力軸承。
UTM-FH和UTM-FW采用數(shù)字5軸控制磁浮軸承，實現(xiàn)了高功能、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點。
FH系列是高背壓高壓縮型，是提高氫氣壓縮比的輕中型工藝的理想選擇。

特征

配備監(jiān)控/自我診斷功能和通訊功能，可以通過數(shù)字化支持集中管理系統(tǒng)。
配備無耦合系統(tǒng)。
一個電源可以通過切換型號與注冊的泵體結(jié)合使用。

可以針對背壓的變化保持穩(wěn)定的排氣特性。
也可選擇優(yōu)異的耐腐蝕表面處理（鍍鎳+陽離子電沉積涂層、特殊層壓涂層、氧化鋁等）。
可以全方位安裝。
配備變速系統(tǒng)。排氣速度可以在 25% 到 100% 的范圍內(nèi)變化。
采用破壞性能量吸收結(jié)構(gòu)，在發(fā)生故障時減少設(shè)備損壞的高度**設(shè)計。
通過大氣涌入試驗、各種接地試驗、轉(zhuǎn)子葉片破壞試驗、異物污染（晶片落下）試驗等，實現(xiàn)
高耐久性和高可靠性。
CE 兼容

利用

氣相沉積設(shè)備、濺射設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備等無副反應(yīng)產(chǎn)物
的輕到中間工序的主要排氣。
分析儀、研發(fā)設(shè)備、實驗設(shè)備等主要排氣
上述排氣系統(tǒng)的H ₂ 、He等輕質(zhì)氣體的主排氣
多站使用TMP和使用背泵集中排氣的應(yīng)用

規(guī)格

模型			UTM-350FH		UTM-480FH		UTM-800FH		UTM-1001FH		UTM-3303FH
法蘭口徑	進(jìn)氣口		VG100	ICF152	VG150	ICF203	VG150	ICF203	VG200	ICF253	VG350
	排氣口		NW25				NW40
排氣速度12	升/秒	氮₂	350	330	480	480	810	740	1000	1000	3300
		H ₂	320	310 310	340	340	530	520	570	570	2400
極限壓力13	帕		10 ^-8
大壓縮比1*3	氮₂		> 10 ¹⁰				> 10 ⁹				> 10 ¹¹
	H ₂		1×10 ⁴				3×10 ⁴				9×10 ⁴
N ₂大進(jìn)氣口壓力（大流量時）14	水冷	帕	43				18 18				9
	風(fēng)冷		8				0.7				――――
N ₂大排氣口壓力（大流量時）14	水冷	帕	410				180				210 210
	風(fēng)冷		240				50				――――
N ₂連續(xù)運(yùn)行大流量4	水冷	SCCM	850				1100				1800
	風(fēng)冷		480				260				――――
Ar連續(xù)運(yùn)行大流量4	水冷	SCCM	370				480				1100
	風(fēng)冷		160				110				――――
旋轉(zhuǎn)速度	轉(zhuǎn)數(shù)		45000				36000				22200
開始時間/停止時間	分鐘		關(guān)于 4.0 / 4.0				約 6.0 / 10.0				關(guān)于 12/16
軸承方式			數(shù)字5軸控制磁軸承
葉片表面處理			鍍鎳								無處理
車身烘烤溫度	℃		≤120
冷卻方式			水冷/風(fēng)冷可選								水冷
冷卻水連接口			RC 3/8
冷卻水流量	升/分鐘		≧ 3.0
冷卻水進(jìn)/出口壓差	兆帕		≧ 0.05
氣體吹掃口			NW10								沒有任何
氣體吹掃流量	SCCM		十				二十五				沒有任何
身體質(zhì)量	公斤		17 17				28 28				86
標(biāo)準(zhǔn)輔助泵*5	升/分鐘		290				800				1500
噪音	分貝		64				65 65				55 55
電源容量	千伏安		0.6				0.9。				1.6 1.6
輸入電壓	醋栗		單相200-240
輸入頻率	赫茲		50/60
電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng)			變頻調(diào)速
恒定輸出頻率	赫茲		750				600				370
允許環(huán)境溫度	℃		0～40
大量的	公斤		10.0
采集標(biāo)準(zhǔn)			行政長官

注）本規(guī)格表中的數(shù)值為實測數(shù)據(jù)的代表值，并非保證值。
* 1 根據(jù) JVIS005 標(biāo)準(zhǔn)測量值。此外，計算值基于測量值。
* 2 未附加保護(hù)絲網(wǎng)的值。
* 3 表示訂單。
* 4 標(biāo)準(zhǔn)表面處理的標(biāo)準(zhǔn)輔助泵的排放值。
如需在*大進(jìn)氣壓力附近長期連續(xù)使用，請與我們聯(lián)系。
* 5 根據(jù)氣體流量選擇大容量的泵。