ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵

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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵

產(chǎn)品型號(hào): LR300

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

多級(jí)羅茨干式真空泵 LR系列通過將泵體的熱量吸收在低溫區(qū)域，它是*適用于準(zhǔn)備取出室排氣的泵過程。

ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵 的詳細(xì)介紹

多級(jí)羅茨干式真空泵

LR系列

LR

ULVAC

通過將泵體的熱量吸收在低溫區(qū)域，它是*適用于準(zhǔn)備取出室排氣的泵過程。

特征

除了低溫區(qū)域的熱化（LR 系列） PVD 工藝外，它還非常適用于沖泡和取出室的排氣，其中縮短排氣時(shí)間對(duì)于提高產(chǎn)量尤其重要。
由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封
罐裝電機(jī)，因此非常**。
瞬時(shí)停電對(duì)策采取1000msec以內(nèi)的瞬時(shí)停電對(duì)策。
優(yōu)異的耐蝕性
主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時(shí)減少泵內(nèi)部的腐蝕。
通訊功能
可以讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

利用

成膜設(shè)備（濺射設(shè)備/蒸鍍?cè)O(shè)備等）
縮短準(zhǔn)備外賣室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

模型			LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
*大排氣速度	50赫茲	米³ /小時(shí) （升/分鐘）	62 (1030)	112 (1860)	183 (3100)	440 (7333)
	60赫茲	米³ /小時(shí) （升/分鐘）	80 (1333)	126 (2100)	237 (3950)	440 (7333)
達(dá)到壓力			5.0帕
*大進(jìn)氣壓力（進(jìn)氣壓力）			氣壓
*大排氣口壓力（排氣壓力）			1Pa ~ 大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）			VG50 (KF50)	VG80 (KF50)		VG100
排氣口			KF40			VG50
大量的		公斤	180	245	335	415
電力*1	三相	VAC (赫茲)	200 (50/60), 220 (60)			180 ~ 240/380 ~ 440 (50/60)
當(dāng)前值	常規(guī)時(shí)間	一個(gè)	6.9（200V 時(shí)）	11.2（200V 時(shí)）	18.9（200V 時(shí)）	20.8（200V 時(shí)）
	*大值	一個(gè)	7.3（200V 時(shí)）	11.8（200V 時(shí)）	20.6（200V 時(shí)）	48.5（200V 時(shí)）
臨時(shí)冷卻水壓力		兆帕	0.1～0.3			0.2～0.5
冷卻水進(jìn)/出口壓差		兆帕	> 0.1			> 0.2
冷卻水流量		升/分鐘	> 5.0			> 4.0
吹掃氣體	初級(jí)壓力	兆帕	0.1～0.5
	二次壓力	兆帕	0.05 ~ 0.1
N ₂吹掃	軸	SLM	五
	氣漲	SLM	0 ~ 45			沒有任何	0 ~ 45

* 1 請(qǐng)?jiān)谟嗁彆r(shí)注明。

模型			LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T (TT)	LR3601-R	LR3601-TR (TTR)
使用的泵		DRP	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
		公安部	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	中國-018A	PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (DT)
*大排氣速度	50赫茲	米³ /小時(shí) （升/分鐘）	359 (5,980)	653 (10,900)	1,012 (16,900)	1,701 (28,350)	3,200 (53,333)
	60赫茲	米³ /小時(shí) （升/分鐘）	365 (6,080)	701 (11,700)	1,051M (17,500)	1,784 (29,700)	3,200 (53,333)
達(dá)到壓力			0.67帕
*大進(jìn)氣壓力（進(jìn)氣壓力）			氣壓
*大排氣口壓力（排氣壓力）			1Pa ~ 大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）			VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排氣口			KF40				KF50
MBP表面處理			〇 * 2	〇 * 2	〇 * 2	〇 * 2	×	T: × TT: ×	×	TR: × TTR: 〇
大量的		公斤	275	370	420	545	660	720	660	720
電力*3	三相	VAC (赫茲)	200 (50/60), 220 (60)				180 ~ 240/380 ~ 440 (50/60)
當(dāng)前值	常規(guī)時(shí)間	一個(gè)	7.0 （200V 時(shí)）	12.3 （200V 時(shí)）	13.7 （200V 時(shí)）	21.4 （200V 時(shí)）	31.0 (200V) 20.5 (400V)		35.4 (200V) 20.5 (400V)
	*大值	一個(gè)	9.6 （200V 時(shí)）	19.0 （200V 時(shí)）	24.2 （200V 時(shí)）	39.8 （200V 時(shí)）	58.4 (200V) 40.5 (400V)		82.0 (200V) 40.5 (400V)
臨時(shí)冷卻水壓力		兆帕	0.1～0.3				0.2～0.5
冷卻水進(jìn)/出口壓差		兆帕	> 0.1		0.1～0.3		0.2～0.5
冷卻水流量		升/分鐘	> 5.0				> 4.0
吹掃氣體	初級(jí)壓力	兆帕	0.1～0.5
	二次壓力	兆帕	0.05 ~ 0.1
N ₂吹掃	軸	SLM	五
	氣漲	SLM	0 ~ 45				無 * 4	0 ~ 45	無 * 4	0 ~ 45