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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號: ECO-SHOCK(ES10)
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
ECO-SHOCK 是一款
劃時(shí)代的附件,通過將其連接到當(dāng)前使用的干式真空泵上,可以顯著節(jié)省干式泵的能源。
特征
ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
的詳細(xì)介紹
多級羅茨干式真空泵
省電附件
生態(tài)沖擊
ULVAC
ECO-SHOCK 是一款
劃時(shí)代的附件,通過將其連接到當(dāng)前使用的干式真空泵上,可以顯著節(jié)省干式泵的能源。
特征
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有助于節(jié)能
干式真空泵的耗電量*多可降低 80%(與本公司相比)
具有抑制干式泵發(fā)熱的效果,還可以降低空調(diào)設(shè)備的耗電量。
* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。
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提高干泵性能
預(yù)計(jì)提高極限壓力性能可
降低排氣噪音
在所有壓力范圍內(nèi)均不降低排氣速度 在
連續(xù)運(yùn)行時(shí)間長于 1000 Pa 或以下的應(yīng)用中非常有效
* 即使排氣口被抽真空 也可安裝在沒有問題的干泵。
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易于安裝
利用
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用于排出空氣、氮?dú)?、氬氣等惰性氣體的干式真空泵
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干式真空泵用于裝載和卸載室,如濺射
規(guī)格
*1:干泵工藝氣體,吹掃氣體0Pam3/s
*2:手動(dòng)啟動(dòng)/停止ES4A時(shí),
可通過控制連接器的PIN跳線來開啟/關(guān)閉電路保護(hù)器。
* 3: 閥門單元是 ES10 的標(biāo)準(zhǔn)配置。
效果示例
ES4A
* 1 電源頻率 60 Hz
* 2 密封氣體 5SLM
* 3 包括 ECO-SHOCK ES4A 的功耗
* 4 300L 腔室重復(fù)排氣 60 秒 Tact 測量示例
ES10
* 1 電源頻率 60Hz
* 2 功耗是極限壓力下的典型值
* 3 包括 ECO-SHOCK 的功耗
* 4 密封氣體和氣體體積流量為 0Pa·m3 / s 時(shí)。它取決于密封氣體和氣體體積的流量。
尺寸圖
閥單元外觀