型號

VK-X1050

類型

測量頭

綜合倍率

28,800 倍以下^*1

視野 (*小視野范圍)

11 μm 至 7,398 μm

幀率 (激光測量速度)

4 至 125 Hz、7,900 Hz^*2

測量原理

光學(xué)系統(tǒng)

針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、變焦

光接收元件

16 bit 感應(yīng)光電倍增器、超高精細彩色CMOS

掃描方式
(常規(guī)測量時及圖像拼接時)

自動上下限設(shè)定功能、高速光量*好化功能 (AAGII)、反射光量不足補充功能 (雙掃描)

高度測量

顯示分辨率

5 nm

線性標(biāo)尺

動態(tài)量程
(來自工件的光接收量的適用幅度)

16 bit

重復(fù)精度σ

激光共聚焦

20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm

變焦

5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm

高度數(shù)據(jù)獲取范圍

70 萬步驟

準(zhǔn)確性

0.2 + L/100 μm 或更小 (L = 測量長度 μm)^*3

寬度測量

顯示分辨率

10 nm

重復(fù)精度 3σ

激光共聚焦

20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm

變焦

5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm

準(zhǔn)確性

測量值±2 % 以內(nèi)^*3

XY 載物臺結(jié)構(gòu)

手動 運行范圍

70 mm x 70 mm

電動 運行范圍

100 mm x 100 mm

觀察

觀察圖像

超高精細彩色CMOS 圖像、16 bit 激光彩色共焦點圖像、共焦點 + ND 濾波器光學(xué)系統(tǒng)、C - 激光微分干涉圖像

照明

環(huán)狀照明、同軸落射照明

測量用激光光源

波長

紅色半導(dǎo)體激光 661 nm

*大輸出

1 mW

激光產(chǎn)品

2 類激光產(chǎn)品 (GB7247.1)

電源

電源電壓

100 至 240 VAC、50/60 Hz

消耗功率

150 VA

重量

約 13.0 kg